二戰(zhàn)后半個世紀(jì)是現(xiàn)代科技高速發(fā)展的時期,人類經(jīng)過半個世紀(jì)的努力,無論在農(nóng)業(yè)、工業(yè)、醫(yī)藥、生物、宇宙探索、環(huán)境以及風(fēng)淋室基本理論研究等方面,都取得了偉大的成就。材料的高純度、產(chǎn)品的高精度及高可靠性是這一時期科技發(fā)展的特點。
超微細加工、裝配和測試,對諸如空氣潔凈、防微振、防電磁干擾、低噪聲以及對超純水、超純氣體等的嚴格要求,使由此產(chǎn)生的環(huán)境控制學(xué)得到了迅速發(fā)展。控制微振動即防微振,是環(huán)境控制的一個重要組成部分。
防微振的重要性體現(xiàn)在各行各業(yè):例如感光化學(xué)工業(yè),彩色膠片乳劑層14個涂層總厚度僅19pLm,在涂布過程中由于微小的振動將使乳劑涂層厚薄不勻,在膠片上產(chǎn)生橫紋;在慣導(dǎo)技術(shù)方面,為了提高導(dǎo)彈的打擊精度,準(zhǔn)確命中目標(biāo),需要對陀螺儀、加速度計及組合制導(dǎo)(衛(wèi)星、導(dǎo)航、地形匹配及景物匹配)系統(tǒng)的精度提出高的要求,這種高精度慣導(dǎo)系統(tǒng)的調(diào)試和檢測,必須在極為寧靜的環(huán)境中進行;對于微電子工業(yè),線寬0. 1y.m(4G DRAM)產(chǎn)品已進入市場,硅片加工中的光刻工序?qū)ξ⒄駝拥目刂埔髽O為嚴格;其他如精密機械加工、光學(xué)器件檢測、激光實驗、超薄金屬軋制以及理化風(fēng)淋室系列實驗等都需要對微振動進行控制。