1、潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級,應(yīng)根據(jù)電子工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。
2、氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用。
3、下列情況之一者,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置。
1)運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同。
2)生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染,對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響。
3)對溫濕度控制要求差別大。
4)潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊。
5)凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。
6)系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差,靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定:
1)各潔凈室與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定。
2)不同等級的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa。
3)潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差大于5Pa.
4) 凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于10 Pa。
5、非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),并應(yīng)進(jìn)行凈化處理。
6、潔凈室的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等因素確定。潔凈室宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度為1-5級的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng),潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。
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